蚌埠发布客户端讯（记者  李景  杨露露）数据中心处理速度快如闪电、手机导航可精准定位，这些变化背后，是一系列微纳芯片技术的突破。5月31日在蚌召开的第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会上，异质异构集成微系统全国重点实验室全国首发，正式推出三套原创工艺技术和七款产品，实现了微纳领域从技术追赶向自主可控的关键跨越。

从智能手机到新能源汽车，从AI软件到智能家居，未来科技生活正加速到来。当下，在算力竞争的赛道上，MEMS-OCS（光交叉互联芯片）微纳集成工艺体系，正成为突破算力极限的关键钥匙。

“我们研制的大规模阵列MEMS微镜芯片，基于微纳加工技术实现了数千个微镜单元高精度、高密度三维集成。”安徽北方微电子研究院集团有限公司科技带头人陈博说，该芯片可实现上千光路的光信号低损耗高效传输互联，传输速率提升20倍至30倍，成功攻克算力中心万卡互联国产化难题，为高端光通信核心芯片国产化替代夯实产业根基，有效增强我国在算力网络、高端光通信领域的国际核心竞争力。

此次发布的MEMS-OCS（光交叉互联芯片）微纳集成工艺体系、CavPiezo空腔型绝缘体上硅基压电MEMS工艺体系、SMCD表面微机械电容式器件工艺体系三大自主工艺体系，一举打通算力芯片、时钟谐振器等关键器件国产化制造链路，彻底摆脱外部技术制约，实现核心技术、底层器件自主可控，牢牢掌控算力基础与时间基准核心命脉。同步推出七款创新产品，聚焦高端传感、导航测控、新能源安全、智能无人装备等关键赛道，多项成果填补国内技术空白。

“实验室将持续攻坚微纳领域关键核心技术，加速高精尖科研成果孵化转化，聚力打造国际一流微系统创新研发高地，驱动我国高端制造产业高质量稳步发展。”异质异构集成微系统全国重点实验室主任赵宇说。