蚌埠发布客户端讯（记者  顾楷  通讯员  彭雪媛）记者从安徽北方微电子研究院集团有限公司了解到，近日，该院在MEMS-OCS阵列微镜芯片的微纳工艺集成制造技术上取得重大突破，成功攻克了一系列技术难题，掌握了MEMS-OCS阵列微镜芯片量产制造工艺，为我国高端光通信核心芯片国产化替代筑牢了产业底座。

MEMS-OCS是基于MEMS工艺制造的光电路交换器件，主要用于实现不同光信号通道之间的灵活、高效切换。其制造工艺，是目前全球微纳加工领域顶尖技术之一，国内长期依赖进口。

“在数字经济、算力网络与全光通信加速发展的大背景下，高端MEMS芯片设计与微纳制造能力，已成为全光交换、智能感知、惯性导航等战略领域的核心硬核支撑。”安徽北方微电子院有关负责人说，此次技术突破主要围绕256端口、1024端口阵列微镜芯片的研制需求展开，重点攻克了微纳结构精密刻蚀、低应力薄膜生长、高深宽比结构成型、高精度对准键合、高反射率镜面制备、晶圆级一体化等核心工艺难题，形成了完备的自主工艺规范与技术成果体系。通过这一工艺产出的芯片，具备响应速度快、偏转精度高、插入损耗低、通道隔离度优、长期稳定性强等突出优势，能够全面适配OCS光电路交换、ROADM可重构光分插、数据中心全光交换、光路保护倒换等各类光通信应用场景。

安徽北方微电子研究院集团有限公司是MEMS智能传感器产业的领军企业，也是国内传感器领域技术研发与产业化的标杆。依托多年在微纳工艺和MEMS领域的技术积累，该院在光通信类微镜芯片、高端惯性器件、高精度惯性测量组件、压电时钟谐振器件等方向持续取得关键突破，形成了多领域、系列化的高端MEMS技术成果布局。

目前，MEMS-OCS阵列微镜芯片微纳工艺集成制造技术已迈入技术成熟定型、深度迭代量产推进阶段。在研发层面，团队正持续开展工艺参数优化、可靠性环境试验、性能对标升级，积累了多项发明专利、实用新型专利及自主知识产权成果。在生产层面，企业已配套建成专业洁净研发生产环境、微纳工艺加工平台与全套精密测试表征系统，具备了晶圆批产、结构加工、封装老化、质量全流程管控能力。

下一步，安徽北方微电子院将立足蚌埠，持续深耕微纳制造与MEMS核心技术赛道，强化技术创新与成果转化，完善产业链协同配套能力，全力打造自主可控、安全可靠的高端MEMS芯片研发生产基地，为全光网络建设、算力基础设施、航空航天与高端装备等国家战略领域持续赋能，助力蚌埠加快打造中国传感谷。